Fabrication of High Density TiN using a Spark Plasma Sintering Technique

방전 프라즈마 소결법에 의한 고밀도 TiN의 제조

  • 심광보 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 원종한 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김경훈 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.06.01

Abstract

난소결성의 TiN에 방전 플라즈마 소결법을 적용하여 고밀도 TiN 소결체를 제조하였다. 제조된 TiN 시편의 소결특성 및 입성장 정도를 평가하였으며, 전자현미경을 이용하여 미세구조를 분석하였다. Milling 과정동안 잠입된 $Al_2$O$_3$는 1$700^{\circ}C$ 이상의 소결온도에서 TiN 분말과 반응하여 부분적으로 액상을 형성하여 물질이동을 가속화함으로써 치밀화가 저온에서 시작하도록 함으로써 궁극적으로 결정립성장 제어에 기여하는 것으로 확인되었다. 이러한 현상은 굽어진 TiN 결정입계와 결정입계 삼중점에 존재하는 $Al_2$O$_3$를 포함하는 2차 결정상 cluster의 존재로 설명되어진다.

Keywords

References

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