The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

MEMS 기술 개요 및 동향

  • 전국진 (서울대학교 전기컴퓨터 공학부)
  • Published : 2001.03.01
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Abstract

Keywords

References

  1. NEXUS task force report A market analysis for microsystem
  2. Microsystems Industry Report Microstructures and Microsystem technology applications and Market 1997-2002
  3. 전자공학회지 v.24 no.10 MEMS 기술의 동향
  4. 마이크로머신의 세계 H. Hujita;김용권(역)
  5. 지능형 마이크로시스템 사업 보고서