Abstract
$TiO_2$ thin films were prepared by coating and subsequent pyrolysis processes using Titanium-naphthenate as a raw material. $TiO_2$ thin films were made by spin-coating technique on the glass substrates, and heat treated at 45$0^{\circ}C$, The transmittance, refractive index, crystallinity and surface morphology of the $TiO_2$ thin films were measured by UV/Vis spec trophotometer, x-ray diffractometer and scanning electron microscope. $TiO_2$thin films on the slide glass showed the trans mittance of 70-90% and refractive index of 2.6 at 420 nm. The results of XRD and SEM showed that the $TiO_2$ thin films exhibited the anatase phase and the thread-like surface morphology.
$TiO_2$ 박막을 금속유기화합물인 Titanium-naphthenate의 코팅-열분해법으로 제조하였다. 출발물질은 Ti-naphthenate를 toluene에 희석한 용액을 사용하였으며 기판은 slide glass를 사용하였다 Titanium-naphthenate 용액을 spin-coating법으로 기판에 코팅하고 $450^{\circ}C$에서 열터리하여 $TiO_2$ 박막을 제조하였다 제조한 박막의 특성을 UV/Vis, XRD 및 SEM 등으로 박막의 투과율, 굴절률, 결정상 및 표면 형상을 분석하였다. Slide glass 위에 제조한 TiO$_2$ 박막은 투과율은 70~90%이며 420nm에서의 굴절율은 2.7이었다. $TiO_2$박막은 anatase상을 나타내었고 실타래 형상의 주름을 가진 표면을 나타내었다
