LTCC RF 모듈용 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 저온소결 및 마이크로파 유전특성

Sintering and Dielectric Properties of $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$ Microwave Ceramics for LTCC RE module

$BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 유전체 세라믹스에 lithium borosilicate계 유리를 첨가하여 저온소결특성과 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 유리 프릿을 10∼l3 wt%의 범위로 첨가함으로서 순수한 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 소결온도($1300^{\circ}C$)보다 현저히 낮은 850∼$900^{\circ}C$의 온도범위에서 상대밀도 97%이상의 소결체를 얻을 수 있었다. 10 wt%의 유리 프릿을 첨가함으로서 85$0^{\circ}C$의 소성온도에서 유전율($\epsilon_r$)54 및 품질계수($Q{\times}f$)2400 GHz그리고 공진주파수의 온도계수($\tau_f$)는 $+8ppm/^{\circ}C$으로서 우수한 유전 특성을 가지는 소결체를 얻을 수 있었다.

The effects of glass addition on the low-temperature sintering and microwave dielectric properties of $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$ dielectric ceramics were studied. When 10∼13 wt% of lithium borosilicate glass was added, the sintering temperature decreased from 130$0^{\circ}C$to 850-$900^{\circ}C$relative density of more than 97% was obtained. When the sample was sintered at $850^{\circ}C$ with 10 wt% of glass, the dielectric properties of $\epsilon_r{\ge}54$, $Q{\times}f_0{\ge}2300$, and $\tau_f{\ge}+8ppm/^{\circ}C$ were obtained.