한국자기학회지 (Journal of the Korean Magnetics Society)

  • 제15권1호
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  • Pages.30-36
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  • 2005
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  • 1598-5385(pISSN)
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  • 2233-6648(eISSN)
한국자기학회 (The Korean Magnetics Society)
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PCB기판에 임베디드 된 페라이트 필름 인덕터

Embedded Ferrite Film Inductor in PCB Substrate

  • Bae, Seok (eMD Labs, Central Research Center, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Mano, Yasuiko (eMD Labs, Central Research Center, Samsung Electro-Mechanics)
  • 발행 : 2005.01.01
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초록

최근 20년 동안 스핀 스프레이 방법으로 제조된 페라이트 필름이 갖는 여러 가지 우수한 점들이 보고되어 왔다. 기존의 벌크 페라이트 재료와 달리 고주파 특성이 우수하며, $100^{\circ}C$ 이하에서 저온 공정이 가능한 점이 그것이다. 따라서 상기의 방법을 이용하여 micro DC-DC 컨버터용 Ni-Zn 페라이트 인턱터를 제조하였으며, 기판재료는 폴리이미드를 사용하였고, 라미네이션과 비아홀 가공, 도금 공정을 이용하여 임베디드 형태를 완성하였다. 또한 Ni-Zn ferrite는 절연체이므로 다른 절연층을 형성하지 않았다. 제조된 Ni-Zn ferrite 는 약 0.61 T의 포화자화, 약 110의 실수 투자율을 보였고, 인덕터의 특성은 스파이럴 16턴 디자인의 경우 5 MHz에서 1.52 H에 Q-factor 24.3, 정격전류 863 mA였다.

Recently, It has been reported that the spin sprayed ferite film shows better magnetic properties at high frequeny that the ferrite by co-firing over $800^{\circ}C$ . Besides, there is no limitation to select the substrate materials because it can be processed with relatively low temperature below $100^{\circ}C$. Therefore, we fabricated film inductor as a passive device for DC-DC converter by a use of spin sprayed embedded form was completed by via hole process of pad opening. Saturation magnetization of 0.61 T and real part of permeability of 110 were obtained in Ni-Zn ferrite. In addition, inductance of 1.52 ${\mu}H$, quality factor of 24.3 at 5 MHz were measured with spiral 16 turn inductor. The rated current of inductor was 863 mA.

키워드

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