Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of an Apparatus for In-situ Vacuum Gauge Calibration

In-situ 진공게이지 교정장치 개발

  • Hong, S.S. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim, I.T. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Jho, M.J. (Industrial Consulting Team, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Chung, W.H. (VTS Corporation)
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 조문재 (한국표준과학연구원 산업지원팀) ;
  • 정원호 ((주) 브이티에스)
  • Published : 2006.11.30
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Abstract

We have developed in-situ vacuum gauge calibration system in the range 1 Pa to 100 kPa by using constant volume method. The system is capable of gauge calibration by comparison method without demount the reference gauges. The system will be useful for dissemination of national vacuum standards to foreign developing countries and domestic industries.

정적법(constant volume method)을 이용하여 $1Pa\sim100kPa$ 영역에서 진공게이지의 직접교정 (direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.

Keywords

References

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