Abstract
In this paper, we proposed a method for measuring accurate positions and sizes of package and balls in a micro BGA. To find defects of BGA accurately, we focused on finding positions of package and balls. After labeling, we detected connected components of package and balls using feature parameters. After the detection of package component, we measured position and size of package by employing rectangular model which was constructed by the package information. After the detection of the ball components, we measured positions and diameters of balls by employing circular models which were constructed by the ball informations. We did calibration based on landmarks to measure real length, and we compared the measured results with the SEM data. Finally, we found that the accuracy of the proposed method is 94% in terms of ball's radius.
본 논문에서는 마이크로 BGA의 패키지와 볼의 정확한 위치와 사이즈를 측정하기 위한 방법을 제안하였다. 정확하게 BGA의 결함을 찾아내기 위해, 패키지와 볼의 위치를 찾아내는데 중점을 두었다. 라벨링한 후, 특징 파라미터를 이용하여 패키지와 볼 성분만을 검출하였다. 패키지 부분을 검출한 후, 패키지에 대한 정보를 입력 파라미터로 사용하여 사각형 모델로 패키지의 사이즈를 측정하였다. 또한 볼 부분을 검출한 후, 볼 부분에 대한 정보를 입력 파라미터로 사용하여 원형 모델로 볼의 위치와 지름을 측정하였다. 실제 길이를 측정하기 위하여 landmark에 근거한 calibration을 수행하였으며 SEM으로 볼을 측정한 데이터를 기준으로 측정치와 비교하였다. 위의 실험으로부터 제안 기법에 의한 볼의 반지름 측정값의 정확도가 평균 94%가 되는 사실을 확인하였다.