Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Characteristics of Pentacene on High-k Film for Flexible Organic Field Effect Transistor

유연성 유기물 transistor를 제작을 위한 고유전 박막 위에서의 Pentacene의 특성

  • Lee Sun-Woo (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University) ;
  • Lee Sang-Seol (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University) ;
  • Park Jung-Ho (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University) ;
  • Park In-Sung (Department of Materials Science and Engineering, Sungkunkwan University) ;
  • Seol Young-Gug (Information Display Research Institute, Hanyang University) ;
  • Lee Nae-Eung (Information Display Research Institute, Hanyang University) ;
  • Ahn Jin-Ho (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University)
  • 이순우 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이상설 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 박정호 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 박인성 (한양대 디스플레이 공학연구소) ;
  • 설영국 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 2006.06.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

We reported the grain growth of pentacone on $HfO_2$ film depending on OTS treatment. The hydrophilic $HfO_2$ thin film was changed into hydrophobic with less interface energy by OTS treatment. The grain size of pentacene on OTS/$HfO_2$ film was increased from 50 nm to 90 nm with the variation of surface energy and the structure was maintained 3-dimensional island structure. Pentacene on OTS/$HfO_2$ surface was directionally arrayed due to appearance of the only thin film phase without bulk phase by OTS treatment.

본 연구는 OTS 표면 처리 유무에 따른 $HfO_2$ 위에서의 pentacene의 grain growth를 비교 연구하였다. OTS 처리에 의해 $HfO_2$의 표면은 hydrophilic에서 hydrophobic으로 변화되었으며, pentacene의 grain size는 50 nm 에서 90 nm으로 증가되었다. 이러한 pentacene의 크기 증가와 더불어 pentacene은 3-dimensional island 구조를 가지며, bulk phase 없이 thin film phase만의 출현으로 인해 OTS/$HfO_2$ 박막 위에서 pentacene은 보다 방향성을 가지며 정렬되었다.

Keywords