Abstract
A novel alignment-free micro-optic MZI filter has been demonstrated. The filter is composed of two fiber-pigtailed collimators and a beam-splittingplate with a periodically etched stripe pattern. We fabricated the plate through a standard lithographic formulation process by using a pyrex substrate glass with SU-8 resist coating on its one of the surfaces. The maximum insertion loss of the implemented filter was less than 2 dB over 1000 nm to 1600 nm and the extinction ratio was larger than 33 dB. The measured PDL within the 3-dB pass band of the filter was less than 0.15dB and the maximum extinction ratio variation was less than 2 dB even when the worst alignment error occured.
광섬유형 콜리메이터와 광 진행 경로의 수직 방향으로 삽입된 주기적으로 식각된 줄무늬(stripe) 평판에 의해 진행하는 빔의 일부에 광 경로차를 유도하는 마이크로 옵틱형 마하젠더 간섭형 필터를 제안하고 구현하였다. 제안된 마이크로 옵틱 필터는 주기적으로 식각된 줄무늬(stripe) 구조의 평판을 빔 경로에 삽입하여 측방향 정렬에 무관하게 특정 소멸비 값 이상의 특성을 구현할 수 있으며, 식각된 박막의 두께를 조정함으로써 원하는 대역폭 및 주기의 전달특성을 가지는 필터를 구현할 수 있다. 네거티브 포토레지스터인 SU-8을 기반으로 줄무늬(stripe) 구조의 주기적으로 식각된 평판을 제작하였으며 이를 이용하여 구현된 필터의 소멸비는 측방향 정렬에 무관하게 30 dB이상의 값을 가진다. 제작된 필터의 FSR(Free Spectral Range)은 장파장 대역에서 약 237 nm이고 그리고 삽입손실은 2 dB 미만의 값을 가진다. 통과대역에서의 PDL(Polarisation Dependent Loss)값은 0.15 dB 미만이다.
