The Embodiment of GAS Pressure Controller for Temperature Control of Sing Crystal $(Al_2O_3)$ Growing Furnace

단결정$(Al_2O_3)$ 성장 노(爐)의 온도 조절용 GAS압력 제어기의 구현

  • 조현섭 (청운대학교 전자공학과)
  • Published : 2007.04.30

Abstract

It is a quite quality concerning to control the temperature of single crystalline growth as it does when we get most of heat treating products. It is also important factor to control the temperature when we make the $Al_2O_3$(single crystalline) used to artificial jewels, glass of watches, and heat resistant transparent glasses. Thus, it is a major interest to get the proper temperature in accordance with the time process while we are making mixture of oxygen and hydrogen to have the right temperature. In this paper, we will study of electrical valve positioning system with DC-Motor for the gas mixture to improve the quality of products.

본 논문에서는 단결정$(Al_2O_3)$ 성장을 DC-Motor로 제어하여 양질의 결정을 얻도록 하는 자동 가스 조절용 DC-Motor의 운영 시스템과 실시간 모니터링 시스템을 연구 개발하였다. 인조 보석류나 예물시계의 유리와 고열 내화용 투명유리 등에 사용되는 단결정(單結晶:$Al_2O_3$) 제품은 대부분의 가열 소성제품처럼 결정 성장 중에 로(爐)내의 열 흐름에 의해 제품의 품질과 특성에 결정적인 영향을 받게 된다. 따라서 수소와 산소를 적절히 혼합하여 로(爐) 내에서 연소시킴으로 공정시간 동안 로(爐)의 온도를 최적의 상태로 유지시키는 것이 양질의 단결정$(Al_2O_3)$을 제조하는 핵심 요소가 된다. 본 연구에서 수행한 가스 조정용 전동 밸브는 기존의 수작업으로 수행하던 압력 밸브의 제어를 기기 작동 밸브의 압력을 샘플링 하여 변위 값들을 일련의 명령어로 변환한 후 컴퓨터의 제어 신호로 바꾸어 밸브를 조정하도록 함으로서 직경이 확대된 단결정의 제조를 가능하게 하였다.

Keywords