고분자 금형을 이용한 소프트 나노임프린트 리소그래피

  • 박찬익 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 정훈의 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 서갑양 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2007.10.01