노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황

  • 임선종 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 강재훈 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 이현용 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 이승우 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
  • Published : 2008.09.15