Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

$NO_2$ gas sensing properties of $SnO_2$ thin films dopped with Pd and CNT

Pd 및 CNT 첨가에 따른 $SnO_2$ 박막의 이산화질소 감지특성

  • Kim, H.K. (Department of Advanced Materials Engineering, Dankook University) ;
  • Lee, R.Y. (Department of Advanced Materials Engineering, Dankook University)
  • 김형균 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 이임렬 (단국대학교 신소재공학과)
  • Published : 2008.12.31
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Abstract

The $SnO_2$ thin films doped with Pd and CNT as $NO_2$ gas sensor were prepared by spin coating and then the $NO_2$ gas response of these films were evaluated under $1ppm{\sim}5ppm\;NO_2$ concentration and operating temperature of $200^{\circ}C$. It was found that the sensor resistance was increased with $NO_2$ exposure and $NO_2$ concentration. The 3wt% Pd doped sample showed a sensitivity of 26.5 which was 10 times higher than that of pure $SnO_2$. And also the sensitivity of CNT doped sample increased with CNT content and it had 72 when 0.225 wt% of CNT was added under 5ppm $NO_2$ concentration.

이산화질소를 감지할 수 있는 센서물질로 Pd과 탄소 나노튜브(CNT)가 첨가된 $SnO_2$ 박막을 스핀코팅으로 제조하였으며, 동 시편의 이산화질소에 대한 감지 특성을 $200^{\circ}C$ 및 $1ppm{\sim}5ppm$의 $NO_2$ 농도 하에서 측정하였다. 센서시편의 전기저항은 $NO_2$ 기체의 노출과 농도에 따라 증가 하였으며, Pd이 3wt%로 첨가된 시편의 감도는 26.5로 첨가전의 감도에 비하여 10배 증가하였다. 또한 $SnO_2$ 모체에 첨가한 CNT의 량에 따라서도 감도는 증가 하였으며, 0.225wt% CNT 첨가 시 5ppm의 $NO_2$ 농도에서 감도 값은 72이었다.

Keywords