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Electrical Properties of CuPC FET with Varying Substrate Temperature

CuPC PET의 기판온도에 따른 전기적 특성 연구

  • 이호식 (동신대학교 병원의료공학과) ;
  • 천민우 (조선대학교 의학부) ;
  • 박용필 (동신대학교 병원의료공학과)
  • Published : 2009.01.30

Abstract

Organic field-effect transistors (OFETs) are of interest for use in widely area electronic applications. We fabricated a copper phthalocyanine (CuPc) based field-effect transistor with different substrate temperature. The CuPc FET device was made a top-contact type and the substrate temperature was room temperature and $150^{\circ}C$. The CuPc thickness was 40nm, and the channel length was $50{\mu}m$, channel width was 3mm. We observed a typical current-voltage (I-V) characteristics in CuPc FET.

최근에 유기물 전계효과 트랜지스터의 연구는 전자소자분야에서 널리 알려져 있다. 특히 본 연구에서는CuPc 물질을 기본으로 하여 소자를 제작하고, 또한 기판의 온도를 달리 하여 제작하였다. CuPc FET 소자는 top-contact 방식으로 제작하였으며, 기판의 온도는 상온과 $150^{\circ}C$로 달리 하였다. 또한 CuPc의 두께는 40nm로 하였고, 채널의 길이는 $50{\mu}m$, 폭은 3mm로 하였다. 제작된 소자를 이용하여 전압-전류 특성을 측정하였다.

Keywords

References

  1. 장성근, "쌍극 폴리-금속 게이트를 적용한 CMOS 트랜지스터의 특성", 전기전자재료학회논문지, 15권, 3호, p. 233, 2002 https://doi.org/10.4313/JKEM.2002.15.3.233
  2. 황한욱, 황성수, 김용상, “LDD 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 특성”, 전기전자재료학회논문지, 11권, 7호, p. 522, 1998
  3. 김윤명, 표상우, 김준호, 심재훈, 김영관, 김정수, 'Photoacryl을 게이트 절연층으로 사용한 유기 박막트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구', 전기전자재료학회논문지, 15권, 2호, p. 233, 2002
  4. 송정근, "유기박막트랜지스터; 유기전자공학의 핵심소자", 물리학과 첨단기술, 14권 7/8호, 2005
  5. Ho-Shik Lee, Seung-Ho Yang, Yong-Pil Park, Eun-Ju Lim, Mitsumasa Iwamoto, "Copper Phthalocyanine Field-effect Transistor Analysis using an Maxwell- wagner Model", Trans. EEM, Vol. 8, No. 3, pp. 139-142, 2007
  6. 이호식, 'CuPc 두께 변화 및 채널길이 변화에 따른 전계 효과 트랜지스터의 전기적 특성 연구', 전기전자재료학회논문지, 20권 1호, p. 47, 2007 https://doi.org/10.4313/JKEM.2007.20.1.047