초록
TFT-LCD 자동 검사 시스템에서 결함 검출을 위한 영상은 라인 스캔 카메라(line scan camera)나 에어리어 스캔 카메라 (area scan camera)에 의해서 획득하게 된다. 그러나 임펄스 잡음과 가우시안 잡음, CCD 혹은 CMOS 센서의 한계, 조명등의 영향으로 열화된 영상이 획득되며, 한도성 결함 영역을 인간의 육안으로 구분하기 어렵게 된다. 본 논문에서는 효율적인 결함 검출을 위해 특징 추출 방법과 결함 검출 방법을 제안한다. 특징 벡터로 웨버의 법칙을 이용한 결함 영역과 주변 배경 영역의 평균 밝기 차와 주변 배경 영역의 밝기 변화를 이용한 표준편차를 이용하며, 결함 영역 검출를 위해 추출된 특징 벡터를 이용하여 비선형 SVM을 적용한다. 실험 결과는 제안한 방법이 다른 방법들 보다 성능이 우수함을 보여준다.
Normally, to extract the defect in TFT-LCD inspection system, the image is obtained by using line scan camera or area scan camera which is achieved by CCD or CMOS sensor. Because of the limited dynamic range of CCD or CMOS sensor as well as the effect of the illumination, these images are frequently degraded and the important features are hard to decern by a human viewer. In order to overcome this problem, the feature vectors in the image are obtained by using the average intensity difference between defect and background based on the weber's law and the standard deviation of the background region. The defect detection method uses non-linear SVM (Supports Vector Machine) method using the extracted feature vectors. The experiment results show that the proposed method yields better performance of defect classification methods over conveniently method.
