탄화규소 단결정 박막 성장 기술

  • 김무성 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ;
  • 강석민 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ;
  • 조영득 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ;
  • 채경훈 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.)
  • Published : 2010.12.26