하향식 마이크로 제조공정과 상향식 자가조립을 이용한 나노소재 박막 디바이스 구현

  • 이동진 (건국대학교 기계공학부 기계설계학전공) ;
  • 고승환 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2012.06.01

Abstract

이 글에서는 하향식 마이크로 제조공정을 이용하여 디바이스 플랫폼을 만들고 상향식 자가조립으로 나노소재 박막을 만드는 공정을 소개하고, 나노소재 박막의 선택적 패터닝을 통해 디바이스를 구현한 연구에 대해 소개하고자 한다.

Keywords