이종 레지스트 패터닝을 이용한 테라헤르츠용 쇼트키 다이오드 개발

Development of Schottky Diode for THz Applications using Heterogeneous Resist Patterning

  • 한민 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
  • 최석규 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
  • 이상진 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
  • 백태종 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
  • 고동식 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
  • 김정일 (한국전기연구원) ;
  • 김근주 (한국전기연구원) ;
  • 전석기 (한국전기연구원) ;
  • 윤진섭 (서일대학교 컴퓨터전자과) ;
  • 이진구 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터)
  • Han, Min (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University) ;
  • Choi, Seok-Gyu (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University) ;
  • Lee, Sang-Jin (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University) ;
  • Baek, Tae-Jong (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University) ;
  • Ko, Dong-Sik (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University) ;
  • Kim, Jung-Il (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
  • Kim, Geun-Ju (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
  • Jeon, Seok-Gy (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
  • Yoon, Jin-Seob (Department of computer aided system, Seoil College) ;
  • Rhee, Jin-Koo (Millimeter-wave INnovation Technology research center, Dongguk University)
  • 투고 : 2011.12.22
  • 심사 : 2012.07.11
  • 발행 : 2012.08.25

초록

본 논문에서는 테라헤르츠 시스템에 적용 가능한 쇼트키 다이오드를 이종 레지스트 패터닝 기술을 이용하여 제작 하였다. 제작된 쇼트키 다이오드는 전자선묘화공정(electron beam lithography)과 포토리소그래피(photolithography)를 사용하여 양극 및 양극 패드의 연결을 동시에 패터닝 하여 공정을 단순화 시켰다. 측정결과 제작된 쇼트키 다이오드의 직렬 저항은 $11.2{\Omega}$, 접합용량은 25.96 fF, 이상 계수(ideality factor)는 1.25를 얻었으며, 차단 주파수는 547.6 GHz를 얻었다.

In this paper, we have fabricated the Schottky diode for THz applications by heterogeneous resist patterning method. The Schottky diode was developed using electron beam lithography and photolithography to connect the anode and the anode pad for a simple process. The measured performance of developed Schottky diode are $11.2{\Omega}$ of series resistance, 25.96 fF of junction capacitance, 1.25 of ideality factor and 547.6 GHz of cut-off frequency.

키워드

참고문헌

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