Journal of the KSME (기계저널)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)
권호 표지

레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용

  • 이승민 (대구경북과학기술원 로봇공학전공) ;
  • 김상원 (대구경북과학기술원 로봇공학전공) ;
  • 최홍수 (대구경북과학기술원 로봇공학전공)
  • Published : 2017.01.01
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Abstract

이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다.

Keywords