• Title/Summary/Keyword: 공초점

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공초점 자가 간섭 현미경을 이용한 분해능 향상

  • Gang, Dong-Gyun;Gwon, Dae-Gap
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2006.10a
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    • pp.1-4
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    • 2006
  • 공초점 자가 간섭 현미경은 측정 광학계에 복굴절 물질을 사용하여 반사된 빛에 대해 간섭 현상을 일으키는 것을 특징으로 한다. 이 간섭을 자가 간섭이라고 부르는데, 이는 시편의 한 점에서 반사되어 나온 빛이 간섭을 일으키기 때문에 붙여진 이름이다. 공초점 자가 간섭 현미경의 점 확산 함수는 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수와 자가 간섭의 곱으로 나타나며, 자가 간섭의 주기가 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수의 중심폭보다 작은 경우 점 확산 함수의 중심폭이 작아져서 수평 방향으로의 분해능이 향상되게 된다. 이러한 분해능 향상 정도를 측정하기 위하여 지름이 100nm 인 금으로 된 비드를 사용하였다. 측정된 결과는 전산모사한 결과와 잘 일치하며 공초점 자가 간섭 현미경에서 2배의 분해능 향상을 보여준다.

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Scanning Confocal Microscope by direct drive of optical fiber (광섬유의 직접구동에 의한 공초점 현미경)

  • 박두성;류광현;노정은;김종배;권남익
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.80-81
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    • 2002
  • 편광 방향이 단일 모드의 유지되는 광섬유와 파장이 780nm인 반도체 레이저를 사용하여 간결한 구조의 beam scanning 타입의 공초점 현미경을 구성하였다. 공초점 현미경은 세포내의 생명 현상을 보다 잘 이해 할 수 있는 장비이기 때문에 기존의 현미경으로는 연구할 수 없던 생명현상을 연구할 수 있도록 여러 가지 강력한 연구수단을 제공하고 있다 살아 움직이는 생명체를 관찰할 수 있는 공초점 현미경에서 중요한 것은 속도와 투과 깊이이고, 장기의 표면을 관찰하기 위해서는 크기가 작아야 한다. (중략)

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The Depolarization Scanning Confocal Microscope (비편광 공초점 현미경)

  • 배한성;김종배;류광현;안미화;권남익
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.132-133
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    • 2003
  • 편광 방향이 단일 모드로 유지되는 광섬유와 파장이 780nm인 반도체 레이저를 사용하여 간결한 구조의 beam scanning 타입의 비편광 공초점 현미경을 구성하였다. 일반적인 공초점 현미경은 세포내의 생명 현상을 보다 잘 이해 할 수 있는 장비이기 때문에 기존의 현미경으로는 연구할 수 없던 생명현상을 연구할 수 있도록 여러 가지 강력한 연구수단을 제공하고 있다. 살아 움직이는 생명체를 관찰할 수 있는 공초점 현미경에서 중요한 것은 속도와 투과 깊이이고, 장기의 표면을 관찰하기 위해서는 크기가 작아야 한다. (중략)

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Construction of Confocal Optical Microscope based on Resonant Scanning Mirror (공진 스캔 미러를 이용한 공초점 광학 현미경 구현)

  • Kim, Dong-Uk;Song, Ho-Seong;Song, U-Seop;Kim, Deok-Yeong
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.275-276
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    • 2008
  • 광 검출기 앞에 미세한 구멍을 대물렌즈의 켤레 초점면에 놓음으로써 초점에 정확하게 일치하는 빛만 검출하는 공초점 광학 현미경은 마이크로미터 이하의 불투명한 샘플 표면, 구조뿐만 아니라 투명한 샘플인 경우 절단 없이 선택적으로 단면을 관찰하는데 사용된다. 이런 장점 때문에 특정 원자나 분자에 인위적으로 염색 시킬 수 있는 형광물질을 사용하여 세포의 기관 구조나 세포 기관간의 활동을 3차원적으로 관찰하는 생물학연구에서도 공초점 광학 현미경이 사용된다. 본 논문에서는 공진 스캔 미러를 이용하여 공초점 광학 현미경을 구현 하고자 한다.

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Scanning confocal microscope of a surface following effect using a quad-detector (4분할 광검출기를 이용한 표면 추적 효과의 공초점 현미경)

  • 김수철;송장섭;권남익
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.9 no.1
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    • pp.1-4
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    • 1998
  • A compact scanning confocal microscope has been constructed using a quad-detector in a CD-player. The variation of error signal on depth which obtained by a quad-detector is used in the scanning confocal microscope. Bipolar error signals, which is sensitive near a focus, give a surface following effect whiout following the surface. In the case of small depth difference, the difference of materials through the reflection signal has been identified. The image which uses reflection signal only, has been obtained with the same setup. And, the results obtained in two different way were compared and analyzed.

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Surface profiling by the phase shifting method in fiber-optical confocal scanning interference microscopes (광섬유 공초점 간섭 현미경과 위상 변위법을 결합한 표면 검색)

  • 김대찬;이승걸
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.10 no.3
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    • pp.201-207
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    • 1999
  • The fiber-optical confocal scanning interference microscope with a simple configuration was constructed with a 4-port fiber-optic coupler, and the new method based on the phase shifting method was proposed for surface profiling by the system. In the method, the height of a specimen was determined from the phase of confocal beam. It was verified experimentally that the method was applicable to even the confocal interference microscope with a long-wavelength source and a low NA objective, and that the scanning time could be drastically reduced compared with the conventional method. Finally, it was found that our method is less sensitive to the variation of surface reflectivity than the conventional method.

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Measurement of metal materials structure by using the manufactured Scanning Confocal Microscopy (초소형 공초점 현미경의 제작과 금속의 구조 측정)

  • Seo, Myeong-Hee;Kim, Jong-Bae;Kwon, Nam-Ic
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.25 no.11
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    • pp.52-57
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    • 2008
  • We demonstrate the operation of an apparatus that we call the laser scanning confocal microscopy. It is valuable tool of the investigations for imaging process. We measured the thin metal structure through the SCM manufacture. Confocal microscopy offers several advantages including shallow depth of field, elimination of out-of-focus glare, and the ability to collect serial optical sections from thick specimens than conventional optical microscope. This research is manufactured of scanning confocal microscopy and after measured of metal materials structure.

공초점 주사 현미경에서 고속, 고품질 3차원 영상복원을 위한 최적조건

  • Kim, Tae-Hun;Kim, Tae-Jung;Gwon, Dae-Gap
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2006.10a
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    • pp.5-9
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    • 2006
  • 공초점 주사 현미경(Confocal Scanning Microscope, CSM)은 Bio-cell 및 특정 형태를 가지는 object의 고분해능 3차원 영상복원이 가능하여 3차원 측정장비로 주로 사용된다. 특히 LCD 패널 및 반도체 웨이퍼의 불량 검사 장비로의 활용이 가능하여 3차원 영상으로부터 불량 여부와 원인을 알아낼 수 있다. 하지만 생산 공정에서 불량 검사를 하기 위해서는 고속, 고품질의 성능이 요구된다. 따라서 이 논문에서는 공초점 주사 현미경을 이용하여 고분해능으로 고속, 고품질의 3차원 영상복원을 할 때 어떠한 조건이 요구되는지 알아보고 시뮬레이션 하도록 하겠다.

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Confocal Microscopy Image Segmentation and Extracting Structural Information for Morphological Change Analysis of Dendritic Spine (수상돌기 소극체의 형태변화 분석을 위한 공초점현미경 영상 분할 및 구조추출)

  • Son, Jeany;Kim, Min-Jeong;Kim, Myoung-Hee
    • Journal of the Korea Society for Simulation
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    • v.17 no.4
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    • pp.167-174
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    • 2008
  • The introduction of confocal microscopy makes it possible to observe the structural change of live neuronal cell. Neuro-degenerative disease, such as Alzheimer;s and Parkinson’s diseases are especially related to the morphological change of dendrite spine. That’s the reason for the study of segmentation and extraction from confocal microscope image. The difficulty comes from uneven intensity distribution and blurred boundary. Therefore, the image processing technique which can overcome these problems and extract the structural information should be suggested. In this paper, we propose robust structural information extracting technique with confocal microscopy images of dendrite in brain neurons. First, we apply the nonlinear diffusion filtering that enhance the boundary recognition. Second, we segment region of interest using iterative threshold selection. Third, we perform skeletonization based on Fast Marching Method that extracts centerline and boundary for analysing segmented structure. The result of the proposed method has been less sensitive to noise and has not been affected by rough boundary condition. Using this method shows more accurate and objective results.

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공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점

  • 박정재;김승우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.169-169
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    • 2004
  • 현미경을 이용한 자동화된 검사 공정에 있어서 무엇보다 중요한 과정은 초점조절이며, 피 측정물의 선명한 현미경 영상을 얻기 위한 빠르고 신뢰도가 높은 자동초점조절 방법들은 일련의 검사공정에 있어서 필수 불가결한 요소로 자리매김 하고 있다. 일반적으로 널리 사용되고 있는 수동형 자동초점조절 방법들은 측정물체 표면의 영상대비 정보를 이용하는 방법으로 구성이 비교적 간단하지만, 최대대비 위치를 찾기 위한 주사과정이 필요하므로 시간 소요가 크고, 시편에 대한 의존도가 높다는 단점이 있다.(중략)

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