Study on Optimization of Micro Dot Pattern Etching process using the Spin Wet Etching Process (Spin Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2006.10a
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- pp.171-172
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- 2006