• Title/Summary/Keyword: Nano radian angle measurement

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Nanometrological Application of X-ray Interferometry (엑스선 간섭계를 이용한 초정밀측정)

  • 엄천일
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.40-45
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    • 2000

  • 교정은 모든 측정분야에서 어렵고 까다로운 주제인데, 특히 정전센서, 레이저간섭계, AFM, STM 등을 포함하는 나노메트롤로지(nanometrology : 나노측정) 분야에서는 그러하다. 나노측정에서는 전체 측정범위가 센서들의 한계분해능 값과 비슷한데, 이러한 측정에서 높은 소급성을 유지하기는 매우 어렵기 때문이다.(중략)

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