• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 2009.10a
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• pp.1136-1139
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• 2009

Recently, various Ni doping systems and thermal annealing systems have been developed for fabrication of polycrystalline silicon film using SGS (super grain silicon) for medium and largesize AMOLED panels. In this study, we compare the potential of Ni doping systems including ALD (atomic layer deposition), AMD (atmospheric metal deposition), in-line sputter, and crystallization annealing systems including batch type furnace, inline furnace, and RTA (rapid thermal annealing) developed for the SGS method. Additional requirements for those systems to be used for mass production of large AMOLED TVs are suggested based on evaluation results for both poly-Si films and TFT backplanes.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.122-122
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• 2016

타 디스플레이의 역사에 비하여 상대적으로 짧은 기간 내 빠른 기술적인 성장을 거듭한 OLED 기술은 향후 디스플레이는 물론 조명시장까지 잠재적인 큰 시장을 갖고 있다. 따라서 이러한 시장을 확보하기 위해서 지속적인 기술 개발이 필요한 실정이다. 본 논문에서는 OLED 제조공정 중 챔버를 진공상태로 유지하기 위해 챔버 단독 또는 챔버와 챔버 사이에 설치되는 진공밸브 관련 기술의 특허 현황분석을 통해 중복연구와 기술 침해로 인한 문제점을 미연에 방지하고 향후 연구방향을 설정하는데 있어 선행 기술 자료로 활용하고자 한다.