• 제목/요약/키워드: Separated Probe

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전기화학적 에칭을 이용한 텅스텐 미세 탐침 가공 (Fabrication of Tungsten Probe using Electro-Chemical Etching)

  • 인치현;김규만;주종남
    • 한국정밀공학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.111-118
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    • 2001
  • Tungsten probe is the most important part of a probe card, which is widely used for the performance test of wafer chips. Electro chemical etching becomes an exclusive choice for mass production of the tungsten probes. In the mass production, not only the shape of the probe but also the shape distribution of machined probes is important. A new method is proposed for the mass production of the tungsten probes. Tungsten wires are separated by a distance, and dipped into electrolyte. The dipping rate is controlled to shape the probes. Several experimental tests are performed to study the machining characteristics. From the test results, machining parameters including electrical conditions and anode position showed significant influences on the shape, repeatability, precision and quality of sharp tips.

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두 개의 컨덕턴스미터를 이용한 슬러그류의 기공률 및 기공률 전달속력 실시간 측정 (Real-time measurement of void fraction and its propagation speed of slug flow with two Conductance meters)

  • 김종록;안예찬;강덕홍;김무환
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2004년도 추계학술대회
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    • pp.1569-1573
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    • 2004
  • Two ring-type conductance meters were manufactured to measure void fraction and its propagation speed in slug flow. The signal of conductance meter with two rings depends on liquid temperature. Therefore a conductance meter with separated probe designed by Coney (1973), which is independent of liquid temperature, was used and experimentally proved. The manufactured conductance meters showed a good repeatability and agreement with the analytical solution by Coney (1973). From time lag between two conductance meter, we could calculate the propagation speed of void fraction.

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Plasma characterization of a mesh separated dual plasma source by L-probe and QMS

  • 김동훈;최지성;김성봉;박상종;주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.156.2-156.2
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    • 2015
  • 반도체 소자의 크기가 나노사이즈로 줄어들기 때문에, 건식식각의 중요성이 강조되고 있다. dual plasma source를 사용함으로써 plasma 밀도, 이온충돌에너지, 이온플럭스를 조절 가능하다. Low frequency로 이온에너지를 조절하고, high frequency로 이온플럭스를 일반적으로 조절한다. 본 연구는 inductively coupled plasma (ICP)와 capacitively coupled plasma (CCP)를 사용하는 dual plasma source이다. ICP는 AE RPS로 2.4 MHz를 사용하고, CCP는 AE RFX-600으로 13.56 MHz이다. single L-probe는 Hiden ESPion이고, quadrupole mass spectrometer (QMS)는 INFICON CPM-300이다. chuck에 CCP가 인가되고, ICP는 SUS mesh를 거쳐서 영향을 미친다. Gas는 Ar, Ar+CF4 두 조건에서 비료를 하였다. Single L-probe를 이용하여 플라즈마를 측정한 결과 CCP만 인가하였을 때, Te 2.05 eV, Ne 4.07E+10 #/cm3, Ni 5.82E+10 #/cm3의 결과를 얻을 수 있었다. ICP를 방전하고 mesh를 통해서 chuck으로 입사하는 이온을 측정한 결과 mesh에 의해 이온이 중성화되어 거의 입사하지 않음을 확인할 수 있었다. 최종적으로 이온의 영향이 상쇄되고, 라디칼의 영향이 증가하여 높은 etch rate와 선택비를 가지며, 등방성 식각의 영향이 커질 것으로 사료된다.

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부분 반사 프로브를 사용한 공통경로 OCT 이미지 획득 (Common-path OCT Image Using Partial Reflecting Probe)

  • 박재석;정명영;김창석
    • 한국광학회지
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    • 제19권2호
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    • pp.103-107
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    • 2008
  • 기존 OCT 시스템의 Michelson 간섭계와 다르게 간섭신호가 프로브 끝단에서 유도되어 기준신호와 샘플신호가 동일한 경로를 통해 진행하는 공통경로 OCT 시스템을 제작하였다. 최적의 기준신호가 생성되도록 하기 위해 부분반사 프로브(Probe)의 굴절률을 최적화하였고 생체 샘플의 이미지 획득이 가능하도록 프로브의 끝단에서 초점이 맺히도록 볼록 렌즈형 프로브를 제작하였다. 이를 통해서 실제 샘플의 2차원 이미지의 획득이 가능하였다.

자유흐름 난류강도가 후향계단유동에 미치는 영향에 대한 실험 (An Experiment on the Effects of Free Stream Turbulence Intensity on the Backward-Facing Step Flow)

  • 김사량;유정열
    • 대한기계학회논문집
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    • 제19권9호
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    • pp.2297-2307
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    • 1995
  • An experimental study on the structure of a separated shear layer downstream of the backward-facing step has been performed by examining mean flow and turbulent quantities in terms of free stream turbulence. When free stream turbulence exists, the entrainment rate of the separated shear layer and the flow rate in the recirculation region are enhanced, resulting in shorter reattachment length. The production and diffusion terms in the turbulent kinetic energy balance are shown to increase more than the dissipation term does. Rapid decrease of the pressure-strain term in the shear stress balance implies the enhancement of the three-dimensional motion by free stream turbulence.

Fusarium속에서 PFGE를 이용한 Electrophoretic Karyotyping (Electrophoretic Karyotyping by PFGE in the Genus Fusarium)

  • 민병례;정진숙;최영길
    • 한국균학회지
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    • 제26권2호통권85호
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    • pp.135-143
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    • 1998
  • CHEF (Contour-Clamped homogeneous electric field) gel electrophoresis를 이용하여 Fusarium section Sporotrichiella, Liseola, Gibbosum, Discolor와 Martiella에 속하는 10종의 electrophoretic karyotype을 비교하였다. Intact chromosomal DNA는 균류의 원형질체로부터 추출하였으며, 크기에 따라 다양한 조건을 주어 DNA 분자를 분리시켰다. Fusarium속에 속하는 종의 염색체는 0.78Mb에서 7.20Mb의 크기를 가진 염색체가 종에 따라 $5{\sim}13$개였다. 각 종의 total genome 크기는 18.32Mb에서 48.20Mb였다. Electrophoretic karyotype을 비교한 후 F. oxysporum formae speciales lilii로부터 무작위로 선택하여 만든 genomic DNA를 probe로 하여 Southern hybridization 분석을 수행하였다.

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전극 기반의 전하 주입을 통한 DNA 전하수송 특성 측정 (Probe-based Charge Injection Study of DNA Charge Transfer for Applications to Molecular Electro-optic Switching)

  • 류호정;김희영;김동현
    • 전자공학회논문지SC
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    • 제48권3호
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    • pp.53-59
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    • 2011
  • 본 논문에서는 DNA 올리고뉴클리오타이드(oligonucleotide)를 통한 전하 이동을 기반으로 하는 분자성 전자광학 스위칭 소자를 제시한다. DNA 올리고머(oligomer)가 흡착되어 있는 금전극에 전자들이 주입되어 전극으로부터 DNA 올리고머로 전하가 흘러가게 하고 이 전하의 이동도를 광학적 스위칭으로 확인할 수 있도록 제안되었다. DNA 올리고머의 흡착량이 증가함에 따라 DNA를 통한 전하의 이동성과 전극 표면에서의 전하전달 제한성으로 인해 전리전류는 감소하였다. DNA의 끝단에 합성된 Cy3 형광 분자의 점멸도를 전극 기반의 전하 주입법을 이용하여 확인하였다. 이러한 결과들은 DNA 올리고머를 이용한 새로운 분자성 전자광학 스위칭 소자에 이용될 수 있다.

Photo Diode Array형의 휴대용 근적외 분광기와 FT 근적외 분광기를 이용한 Hairless Mouse 피부 수분 정량 (Quantification of Skin Moisture in Hairless Mouse by using a Portable NIR System and a FT NIR Spectrometer)

  • 서은정;우영아;김효진
    • 약학회지
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    • 제49권2호
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    • pp.115-121
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    • 2005
  • In this study, the performance of a portable NIR system and a FT NIR spectrometer were compared to determine water content of hairless mouse skin. The stratum corneum parts wer e separated from the epidermal tissues by trypsin solution. NIR diffuse reflectance spectra of hairless mouse skin were acquired using a fiber optic probe. In the near infrared, water molecules show two clear absorption bands at 1450 nm from first overtone of O-H stretching and 1940 nm from the combination involving O-H stretching and O-H deformation. It was found that the variations of O-H absorption band according to water content. Partial least squares regression (PLSR) was applied to develop a calibration model. The PLS model showed a good correlation between NIR predicted value and the absolute water content of separated hairless mouse skin, in vitro. For both the portable and the FT NIR spectrometer, These studies showed the possibility of a rapid and nondestructive skin moisture measurement using NIR spectroscopy. The portable NIR spectrometer with a photodiode arrays-microsensor could be more rapidly applied for the determination of water content with comparable accuracy with the performance of a FT spectrometer .

일치와 이동 (Agree and Move.)

  • 박승혁
    • 한국영어학회지:영어학
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    • 제1권4호
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    • pp.561-585
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    • 2001
  • It has been claimed recently that the two computational operations Move and Agree of Chomsky (2000, 2001a) should be separated into distinct and independent operations. According to this view, Move is an “operation that applies only to meet an EPP-feature of a functional category.” It is also claimed under that analysis that “a candidate for Move is simply a syntactic object with phonetic content.” The purpose of this short paper is to show that the operation Move should still be viewed as composite; hence it must have the operation Agree as one of its prerequisites. We argue that the EPP feature of T may not be analyzed as an independent feature that triggers overt displacement in syntax. Under Chomsky's (2000, 2001a) theory, displacement in syntax must require the probe-goal (P, G) association before the actual movement takes place. It is shown in this paper that in order for an element $\beta$ to raise to the [Spec, T] position, the $\varphi$-features of T must establish a (P, G) relation with those of $\beta$ prior to movement. In short, Move requires Agree, the EPP feature being dependent on the minimal $\varphi$-feature [person] of nominals.

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