• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.05a
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• pp.169-172
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• 2005

공정시 플라스틱 기판의 변형을 방지하기 위해 PC(Polycarbonate) 기판을 약 12시간 동안 pre-annealing시킨 다음 SiN(silicon nitride)와 PI(Poly-imide)를 각각 Sputter와 Spin-Coater를 이용하여 Coating하였다. 완성된 PC 기판위에 Themal Evaporation으로 Calsium을 증착한 뒤 Al을 올렸다. Calsium 증착 된면에 삼성 코닝의 글래스를 UV resin으로 부착 시킨 다음 상온에서 투습률을 측정하였다. 측정 간격은 12시간으로 하였으며 Calsium Test 의 정확도 향상을 위해 CCD Camera로 측정하여 컴퓨터로 분석하였다. 그래픽 저장 파일은 저장시 이미지 손실을 방지하기 위해 Bitmap방식을 그대로 사용 하였으며 정확도 향상을 위한 분석 프로그램은 MicroSoft 사의 Visual C++로 작성하였다. 화상 처리 면적은 컴퓨터 시스템의 처리 속도를 감안하여 70*70 으로 하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.41 no.6
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• pp.450-455
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• 2004

NiCr thin films were fabricated by thermal evaporation method using NiCr alloy as evaporating source. NiCr thin films were annealed at various temperatures in air atmosphere in order to investigate effects of annealing conditions on phase change, composition, and microstructures of NiCr films. Typical multilayer was formed after annealing in air atmosphere. This results from the diffusion and oxidation of Cr toward surface during annealing. In the case of annealing at 700$^{\circ}C$, large columnar grains of NiO were formed on Cr-oxide layer through the diffusion and oxidation of Ni over Cr-oxide layer. Especially, NiO layer was formed additionally on surface, sustaining the underlayer structure with the formation of porous Ni layer.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.181.2-181.2
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• 2016

OLED 소자는 발광 방향에 따라 Bottom Emission 방식과 Top Emission 방식으로 나뉜다. 이 중 대면적 OLED TV 적용에 개구율이 더 높은 Top Emission방식을 선호하는 추세이다. 높은 개구율을 가진 Top Emission OLED소자를 위해서는 투명하고 전도성이 높은 캐소드가 중요하다. 본 연구에서는 Themal Evaporation 시스템을 이용하여 증착한 $SnO_2/Ag-Pd-Cu(APC)/SnO_2$ hybrid 전극의 특성을 연구하고 Oxide/Metal/Oxide(OMO) hybrid 박막의 bending mechanism을 제시하였다. base pressure는 $1{\times}10^{-6}Torr$로 고정하고 $SnO_2$ 박막은 0.34A / 0.32V, APC 박막은 0.46A / 0.40V의 power로 성막하였다. APC와 $SnO_2$의 두께를 변수로 OMO 전극을 제작하였고 그 전기적, 광학적 특성을 Hall measurement, UV/Visible spectroscopy을 이용하여 분석하고 Figure of merit 값을 바탕으로 최적 두께를 설정하였다. UPS(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy) 분석으로 $SnO_2/APC/SnO_2$ 전극의 일함수을 통해 투명 cathode로 쓰였을 때 $SnO_2$ 층이 buffer layer역할을 함을 확인하였다. XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)를 이용하여 정성분석과 정량분석을 하였고 OMO hybrid 전극의 bending mechanism 연구를 위해 다양한 bending test (Inner/Outer dynamic fatigue test, twisting test, rolling test)를 진행하였다. 물리적 힘이 가해진 OMO hybrid 전극의 표면과 구조는 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope) 분석을 통해서 확인할 수 있었다.