• 한국광학회지
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• 제13권2호
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• pp.89-91
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• 2002

기존의 가시광선 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 불투과 평면창의 평행도 및 상대적 표면형상 오차를 동시에 정밀하게 측정할 수 있는 새로운 방법을 제시하고, 적외선 변조전달성능(MTF) 측정장비용 필터에 대하여 시험적으로 측정한 격과를 기술하였다.

• 정보저장시스템학회논문집
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• 제4권1호
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• pp.19-22
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• 2008

For the assembly and evaluation of solid immersion lens (SIL) optical head which is the key component of SIL based near field recording (NFR) technology, we modify the Twyman-Green interferometer. Super-hemisphere SIL optical head for the surface recording is assembled and evaluated by the modified Twyman-Green interferometer. In order to verify the optical performance of the assembled SIL optical head, we compare the measured results of the SIL optical head with the simulation ones. Finally, we show the feasibility of applying the assembled SIL optical head to near field recording system by the experiment of the dynamic gap control based on test bed.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.269-273
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• 2004

The moduled interferometer with waveplates, polarizing beam splitter, etc. for four phase shifted interference patterns was stabilized with the and Fast Fourier Transform (FFT) method was used to investigate the surface profile measurement from the interferenece pattern from Twyman-Green interferometer using a mathcad.

• 한국정밀공학회지
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• 제16권10호
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• pp.203-208
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• 1999

By tilting the reference mirror of Twynman-Green interferometer having a reference mirror and a moving mirror, firinge pattern composed of bright and dark parallel lines can be obtained and the fringe pattern is shifted according to the displacement of the mowing mirror. Several studies are executed for displacement measurement by detecting the intensity of the fringe with photo-diodes having small detecting area. In this study, to improve the sensitivity and robustness, the intensity of fringe is detected by using a large-area quadratic photo-diode masked with a grating panel having four kinds of binary grating having phase-difference of 0, {\pi}$/4, {\pi}$/2, 3 {\pi}$/4. The phase of the fringe is calculated with a simple 4-buckets algorithm. A experimental result shows that standard deviation of 5.653 nm is obtained comparing with a capacitive type gap sensor having nearly 1 nm accuracy.

• 한국광학회지
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• 제2권4호
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• pp.179-185
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• 1991

적외선 광원으로 $CO_2$ 레이저를 사용하였고 광속을 2.5 cm의 직경으로 확대하여 Twyman-Green 간섭계를 구성하였다. 각종 렌즈는 Ge 렌즈로, 광속분리기는 ZnSe 평행판으로 택하였다. Pyro-electric vidicon camera에 의해 CRT monitor에 간섭무늬를 제시하며 image card에 의해 digitize되고 PC로 강도분포가 입력되어 data처리된다. 여기서, 적외선 간섭무늬는 thermal paper 상에 기록하였다. 가시영역에서는 He-Nefp이저를 광원으로 하고 CCD 카메라로 검출하여 CRT monitor에 제시하였다. 파면수차함수, PSF, OTF가 계산되어 3차원 그래프로 제시되며 프린트 된다.

• 한국광학회지
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• 제5권2호
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• pp.191-197
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• 1994

본 연구에서는 물체의 형상을 측정하기 위하여 사용할 수 있는 여러 가지 방법중 위상이동법을 이용하여 주어진 물체의 형상을 재구성하였다. 투영하는 직선형 무늬는 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 발생시켰고 PZT를 이용하여 이들 무늬를 공간적으로 이동시켰다. Hariharan의 위상복구 알고리즘을 사용하여 시료에 투영된 간섭무늬 영상을 해석하여 주어진 시료의 형상을 보정 상수의 범위이내로 재현할 수 있음을 보였다. 그러나 레이저광의 높은 가간섭성에 의한 여러잡음 성분들에 의한 부작용이 관찰되었으며, 정확한 보정의 문제도 주목되었다.

• 한국광학회지
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• 제8권3호
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• pp.199-203
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• 1997

안구표면과 같은 미세구면의 변위를 알아내기 위하여 Twyman-Green 간섭계를 이용하였으며 반송무늬(carrier fringe)를 형성시켜 푸리에 변환법으로 미세구면의 변위분포를 측정하였다. 기준위치에서 일정한 반송무늬가 형성되도록 한 후 구면이 변화할 때 반송무늬의 변화방향을 관측하였으며, 반송무늬의 변화방향에 의해 구면의 변화방향을 알아내었다. 푸리에 변환법(Fourier transform method)을 이용하여 CCD카메라에서 받아들여진 한 장의 간섭무늬로부터 위상분포를 얻어내고 구면의 변위 분포를 계산하였다. 공간주파수 영역에서 변위에 대한 정보를 분리함으로써 간섭무늬의 배경분포 및 잡음을 제거하였으며, 구면의 변위에 대한 3차원 분포를 이론적인 계산값의 측정오차가 .lambda./10 이내에서 얻어내었다.

• 한국광학회지
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• 제3권1호
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• pp.20-26
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• 1992

Twyman-Green형 간섭계의 시험파면의 변형을 추출하기 위하여 fourier변환을 이용하는 방법을 모사실험과 실험을 통하여 검토하였다. 대상 방법중에서는 Takeda의 방법이 변형을 추출하는 용도로 적절함이 밝혀졌다. 이 방법을 평면경에 적용하여 얻은 표면의 구조에는 curvature가 존재하며, 그 크기는 $\lambda$/6정도였다. 이 축정의 정확도는 $\lambda$/40정도로 얻어져, 기 발표된 유사연구의 결과보다 그 정도가 높음을 확인하였다.

• 한국광학회지
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• 제11권2호
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• pp.80-84
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• 2000

Diamond turning machine으로 알루미늄을 가공하여 f/1.5, 구경 50mm인 포물명경을 제작하였다. 이진위상(binary phase) 홀로그램으로 포물면경 현상측정을 위한 computer generated hologram(CGH)을 encoding하였으며 staircase encodling 방법으로 간섭무늬 곡선의 직선근사를 하였다. 간섭무늬 데이터를 포스트스크립트(PostScript) 파일로 변환한 후 CGH 원도를 레이저 프린터로 확대 출력하고 축소 촬영하여 CGH를 제작하였다. 측정부(viewing arm)에 CGH가 위치하는 Twyman-Green 간섭계를 구성하여 포물면경의 표면형상을 측정하였다. 측정결과를 직접표면형상측정법 및 간섭계를 이용한 자동시준법의 측정 결과와 비교하고 오치를 분석하였다.

• 한국광학회지
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• 제15권3호
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• pp.248-253
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• 2004

광섬유 탐침의 끝 단에서 반사하는 광을 이용하는 근접장 주사 광간섭계를 제안하고 제안한 근접장 주사 광간섭계를 이용하여 초점의 위치와 집광 초점면에서의 파면을 분석하였다. 파면의 분석은 광섬유 탐침의 끝 단에서 반사된 빛과 시료표면에서 반사된 빛을 간섭시키고, 탐침의 끝 단을 λ/4씩 위상천이 시키면서 4장의 간섭무늬를 얻은 후, 위상천이 알고리즘을 통하여 광학 수차를 구하는 방법을 이용하였다. 실험 결과 근접 주사시의 초점의 위치를 파장의 3분의 1 이하로 제어할 수 있음을 알 수 있었으며, 제안한 근접장 주사 광간섭계를 이용하여 구한 집광 초점면에서의 파면 수차 값이 트와이만-그린 간섭계를 이용하여 구한 파면 수차값과 잘 일치함을 확인할 수 있었다.