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Data Qualification of Optical Emission Spectroscopy Spectra in Resist/Nitride/Oxide Etch: Coupon vs. Whole Wafer Etching

  • Kang, Dong-Hyun;Pak, Soo-Kyung;Park, George O.;Hong, Sang-Jeen
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.433-433
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    • 2012
  • As the requirement in patterning geometry continuously shrinks down, the termination of etch process at the exact time became crucial for the success in nano patterning technology. By virtue of real-time optical emission spectroscopy (OES), etch end point detection (EPD) technique continuously develops; however, it also faced with difficulty in low open ratio etching, typically in self aligned contact (SAC) and one cylinder contact (OCS), because of very small amount of optical emission from by-product gas species in the bulk plasma glow discharge. In developing etching process, one may observe that coupon test is being performed. It consumes costs and time for preparing the patterned sample wafers every test in priority, so the coupon wafer test instead of the whole patterned wafer is beneficial for testing and developing etch process condition. We also can observe that etch open area is varied with the number of coupons on a dummy wafer. However, this can be a misleading in OES study. If the coupon wafer test are monitored using OES, we can conjecture the endpoint by experienced method, but considering by data, the materials for residual area by being etched open area are needed to consider. In this research, we compare and analysis the OES data for coupon wafer test results for monitoring about the conditions that the areas except the patterns on the coupon wafers for real-time process monitoring. In this research, we compared two cases, first one is etching the coupon wafers attached on the carrier wafer that is covered by the photoresist, and other case is etching the coupon wafers on the chuck. For comparing the emission intensity, we chose the four chemical species (SiF2, N2, CO, CN), and for comparing the etched profile, measured by scanning electron microscope (SEM). In addition, we adopted the Dynamic Time Warping (DTW) algorithm for analyzing the chose OES data patterns, and analysis the covariance and coefficient for statistical method. After the result, coupon wafers are over-etched for without carrier wafer groups, while with carrier wafer groups are under-etched. And the CN emission intensity has significant difference compare with OES raw data. Based on these results, it necessary to reasonable analysis of the OES data to adopt the pre-data processing and algorithms, and the result will influence the reliability for relation of coupon wafer test and whole wafer test.

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페놀이 첨가된 생태계에서 세균 군집구조 변화의 분석 (Characterization of Bacterial Community in the Ecosystem Amended with Phenol)

  • 김진복;김치경;안태석;송홍규;이동훈
    • 미생물학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.72-79
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    • 2001
  • 폐수 처리장의 방류수에 페놀을 첨가한 후 terminal restriction fragment length polymorphism (T-RFLP) 방법을 이용하여 세균군집의 구조와 변화를 조사하였다. 시료로부터 얻은 16S rRNA gene은 eubacterial primer로 증폭하였으며, 한 primer는 5'말단에 biotin을 부착하였다. 증폭된 product는 HaeIII와 AluI으로 각각 절단하였고, 절단된 단편 중에서 terminal restriction fragment (T-RF)를 streptavidin paramagnetic particle을 이용하여 분리하였다. 분리된 T-RF는 전기영동과 silver staining을 통하여 확인하였다. 본 실험의 유용성을 검증하기 위하여 표준 균주 10 균주를 대상으로 실험하였고, 균주마다 특징적인 T-RF를 가지는 것과 그 크기가 Ribosomal database project (RDP) 자료로부터 계산된 결과와 일치하는 것을 확인할 수 있었다. 한편, 대조군으로 사용된 페놀을 첨가하지 않은 방류수 시료에서는 Acinetobacter, Bacillus, Pseudomonas 속 등이 우점종을 차지하고 있었고, 페놀 (최종농도 250mg.$l^{-1}$)을 첨가한 방류수 시료에서는 Acinetobacter, Comamonas, Cytophaga, Pseudomonas 속 등이 우점종을 차지함을 알 수 있었다. Gel에서 분리한 Acinetobacter와 Cytophaga에 해당되는 T-RF는 재증폭 및 염기 서열 분석이 가능하였는데, database의 염기서열과 비교한 결과 Acinetobacter junii와 유연관계가 가깝다는 것을 확인하였다.

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열탈착-저온농축-GC/FID/FPD에 의한 도시 생활폐기물 매립장에서 방출되는 휘발성 유기화합물의 측정에 관한 연구 (Determination of Volatile Organic Compounds emitted from Municipal Solid Waste Landfill Site by Thermal Desorption-Cryofocusing-GC/FID/FPD)

  • 김만구;정영림;서영민;남성현;권영진
    • 분석과학
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    • 제14권3호
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    • pp.274-285
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    • 2001
  • 본 연구는 ppb와 ppt 정도의 농도 수준으로 존재하고 있는 대기 중 휘발성 유기화합물을 분석하기 위해 열탈착-저온농축-GC/FID/FPD를 개발하였다. 그리고 고체흡착제가 충진된 흡착관과 자체 제작한 휴대용 가스채취기를 사용하여 강원도 춘천지역에 위치한 근화동과 혈동리 생활폐기물 매립장에서 배출되는 VOCs를 채취하였다. 저온농축방법으로는 분석컬럼을 직접 저온 농축하는 on-column 저온 농축장치와 0.8mm loop를 이용한 저온농축장치를 서로 비교 검토해 보았다. On-column 저온농축법은 loop에 비해 분리능은 좋으나 흡착관에 채취한 시료를 저온농축할 때 요구되는 50 psi의 높은 탈착압력으로 인해 흡착관의 SwageLok fitting이 마모되어 가스가 새는 문제점이 발생하였다. 이에 반해 탈착압력을 낮추고 탈착유량을 늘리기 위해 설계한 loop 경우에는 탈착압력이 0.4 psi로 on-column에 비해 매우 낮아 가스가 새는 것을 방지할 수 있었다. 열탈착-저온농축-GC/FID/FPD로 분석한 근화동과 혈동리 생활폐기물 매립장에서 검출된 물질로는 toluene, xylene, ethylbenzene등 탄화수소류와 악취물인 styrene, limonene, dimethyl disulfide 등이 검출되었다. 그리고 매립지에서 방출되는 VOCs는 매립되는 폐기물의 조성과 매립기간에 따라 다르게 나타났다. 검출된 화합물은 저온농축-GC/MS를 이용하여 확인하였다.

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민간경호·경비원의 갈등관리가 리더신뢰 및 이직의사에 미치는 영향 (The Effect of Complicit Management of Private Security Guard on Trust for Leader and Turnover Intention)

  • 김은정;박영민;고병현
    • 한국재난정보학회 논문집
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    • 제7권2호
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    • pp.151-160
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    • 2011
  • 본 연구는 민간 경호 경비원의 갈등관리 유형에 따라 민간 경호 경비원들이 인식하는 갈등 관리가 리더신뢰 및 이직의사에 미치는 영향을 규명하여 민간경비 종사자들에 대한 효율적인 갈등관리 방안 유형을 제시하는데 목적이 있다. 연구대상은 2010년 서울 경찰청에 등록된 민간경비회사에 다니는 경호 경비원을 대상으로 선정한 후 유의표집법을 이용하여 표본을 추출하였다. 이 연구에 설문한 총250명 중 234명의 표본을 회수하여 최종분석에 사용된 사례수는 210 명이다. 입력된 자료는 SPSS WIN 17.0 Version을 이용하여 요인분석과 신뢰도분석, 상관분석 및 다중회귀분석 등을 수행하였다. 설문지의 선뢰도 분석결과 Cronbach's ${\alpha}$값이 0.838~0.859로 나타났다. 분석 결과, 첫째 민간경호 경비원의 갈등관리 하위요인인 통합 타협 은혜는 리더신뢰에 영향을 미치고, 둘째 민간경호 경비원의 갈등관리의 하위요인인 통합 타협 은혜 지배는 이직의사에 부적영향을 미치며, 셋째 리더신뢰는 이직의사에 부적영향을 미치는 것으로 나타났다.

채집법에 따른 연엽산 일대 딱정벌레목의 출현상 비교 분석 (Comparison of Occurrences of Coleoptera by Three Sampling Methods in Mt. Yeonyeop Area, Korea)

  • 정종국;이승일;최재석;권오길
    • 환경생물
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    • 제23권3호
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    • pp.228-237
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    • 2005
  • 2004년 4월부터 9월까지 총 6개월 동안, 강원대학교 학술림내 연엽산 일대의 딱정벌레목의 출현상을 채집방법에 따라 조사하여 비교하였다. Sweeping에 총35과 151종 690개체가 나타났고, light trap에 30과 148종 689개체가 출현하였으며, 그리고 pitfall trap에는 총18과 112종 1674개체가 채집되었다. 채집방법별 건중량은 pitfall trap (181.46 g), light trap (39.85 g), 그리고 sweeping (10.89 g)의 순으로 나타났다. Light trap으로는 크기가 작고, 비행성이 강한 Coccinellidae, Nitidulidae, Scarabaeidae 등이 주로 출현하였으며, 7월에 종수가 가장 많았다. 또한 pitfall trap의 경우, 크기가 크고, 육식성 또는 부식성인 Carabidae, Silphidae, Staphylinidae종류가 많이 출현하였다. 특히 가장 많은 개체수가 채집되었지만, 종수는 상대적으로 적었다. 그리고 sweeping의 경우 식식성이거나 미소 곤충을 포식하는 작은 크기의 Chrysomelidae, Curculionidae, Coccinellidae등이 많이 출현하였고,5월에 종수가 가장 많았다. 채집방법간 유사도 분석 결과, Jaccard's index의 값이 light trap-pitfall trap에서 0.07, light trap-sweeping에서 0.10,그리고 pitfall trap-sweeping에서 0.01로 상관성이 매우 낮은 것으로 나타났다. 결론적으로 각 채집방법에 따른 효과는 모두 달랐으며, 다양성 연구 시 세 가지 방법 모두를 사용하는 것이 타당하다고 본다.

한국(韓國)의 전통적(傳統的) 민간요법(民間療法)의 이용실태(利用實態) 조사연구(調査硏究) -성인병(成人病)에 이용(利用)되는 식품(食品)을 중심(中心)으로- (A Study on the Actual Utilization Korean Traditional Remedies -About foods used on geriatric disease-)

  • 이금숙;황춘선
    • 한국식생활문화학회지
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    • 제5권3호
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    • pp.331-347
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    • 1990
  • This study was designed under the purpose to analyze the Korean Traditional Folk Remedies on food, to submit the basic statistical data, and to utilize them by examining how much they know about the Korean Traditional Folk Remedies and also by examining how frequently they used them. The sample was consisted of 312 housewives living in Daegu, Kyungsan city and Kyungsan-eup, the survey was made by use of questionaires from July 15 to August 1 1989. The results are as follows 1. Analysis of Folk Remedical Contents 1) The method of the Folk Remedies used in this area was mainly food, which can be easily found around their house and easy to use, it was possible to apply scientific principles in some cases. 2) The major popular method was shown to feed boiled barley or brown rice which are known as the Folk Remedy for Diabetes. 3) The ANOVA of variable shows the significant influence on each object which age, religion, the level of education, job, monthly income, and the area except family formation. 2. The Frequency of Folk Remedies and additional analysis 1) The most frequently used Folk Remedy was Arterio-sclerosis(1.44), which is followed by the loss of Eyesight(1.40), Hang over(1.28), Couth(1.27), Cold(1.26) etc. 2) In the analysis of Pearson Correlation between frequencies of Folk Remedies used, and demographic variables such as age(p<.05), the monthly income(p<.01), in that area, total number of response items showed a positive correlation. 3. The source to learn about Folk Remedy. 1) It is acknoledged that they are mostly instructed by their forefathers, friends, neighbors, professional textbooks, mass communications, herb doctors, other medical sources or education at school etc. 2) The ANOVA of Variables shows the big differences between each group by age. Based on the above findings, the following suggestions are made ; Most of Korean Traditional Folk Remedies are recognized scientific and reasonable which are based on the scientific research and herb medicine therefore it should be made good use of for our life in good health additionally. I hereby insist that the importance of our Folk Remedies should be reviewed and focused for maintenance our health.

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성인의 반복독서 경험에 관한 연구 - 전북대학교 평생교육원 학생들을 중심으로 - (Repeated Reading Experiences of Adults: Centered on Lifelong Education Center Students at Chonbuk National University)

  • 이승채
    • 한국문헌정보학회지
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    • 제45권1호
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    • pp.353-376
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    • 2011
  • 본 연구에서는 성인이 어떤 도서를 반복적으로 읽는지, 성별 및 연령별로 어떤 차이가 있는지 등 성인의 반복독서 행태에 관하여 밝히고자 한다. 평생교육원에 재학 중인 성인을 대상으로 설문지를 배포하여 그들의 반복독서 경험에 관해 조사하여 분석하였다. 통계 분석 결과 밝혀진 중요한 사실은 다음과 같다. 1) 대부분의 성인이 반복독서 경험을 가지고 있고, 여성이 남성보다 반복독서경험 비율이 약간 높으며 연령대별로는 큰 차이가 없다. 2) 평균적으로 개인별 총 반복독서 횟수는 여성이 남성보다 많고, 연령별로 보면 40대 연령층이 많다. 3) 도서를 반복하여 읽는 경우에 반복 횟수는 2회가 가장 많고 이어서 3회가 많다. 성별로 분석할 경우 반복독서의 횟수가 증가할수록 여성의 비율이 남성의 비율보다 높고 연령대별로는 큰 차이가 없다. 4) 전체의 절반 이상이 가장 기억에 남는 도서를 다독한다. 5) 다독자수와 함께 반복독서 횟수까지 감안하여 중요도를 평가한 결과 가장 중요도가 높은 도서는 <어린왕자>, <삼국지>, <아낌없이 주는 나무>, <그리스 로마 신화>, <나의 라임오렌지나무>, <무소유> 등이다. 6) 대부분 즐거움이나 교훈을 얻고자 반복독서를 하고 있다.

중국내 북한이탈주민을 통해 본 북한의료이용 만족도 (Satisfaction with Health Care in North Korea: A Study of North Korean Refugees in China)

  • 김개영;정우진;이윤환;박종연;;이명근;이옥철
    • 보건행정학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.48-67
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    • 2006
  • The aim of the study was to examine levels of satisfaction with health care in North Korea and to identify factors associated with it using a convenience sample of North Korean refugees in China. Data from the 2004 Survey of Health Seeking Behavior of North Korean Households conducted by the Center for Refugee and Disaster Response, Johns Hopkins Bloomberg School of Public Health were used. The study subjects were 273 North Korean refugees whose length of stay in China was less than 3 months. Factor analysis was used to extract factor dimensions from the 12 satisfaction items. Bivariate (t test and ANOVA) and multiple regression analyses were used in examining factors associated with satisfaction with health care use in North Korea Overall, satisfaction level was low ($2.36{\pm}0.36$, score range: 1-5). Of the three-factor dimensions, physician skills scored the highest $(2.93{\pm}0.36)$, followed by drug availability $(2.51{\pm}0.07)$ and general cleanliness $(1.66{\pm}0.55)$. In the multiple regression analysis, having a usual source of care was significantly associated with patient satisfaction. Respondents who identified primary care (section) doctors as their usual source of care tended to be less satisfied than those with the city or county hospital as their usual source of care. County residents tended to report a lower degree of satisfaction with general cleanliness than city residents. Among socioeconomic characteristics, the number of household assets positively predicted satisfaction with drug availability. North Korean residents appear to be dissatisfied with their medical care. It may reflect some inadequacies in the North's universal health care system to meet the healthcare needs of its people.

제품 다양성의 활성화를 위한 신제품 개발 조직의 구조적 특성 (NPD (New Product Development) Structural Features for Successful Product Proliferation)

  • 김정윤;한주희
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제10권11호
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    • pp.3373-3383
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    • 2009
  • 본 연구는 성공적으로 제품 다양성을 증가시키기 위한 신제품 개발 조직의 특성을 분석하는 데 있다. 본 연구는 플랫폼 및 파생제품 개발을 위한 조직의 구조적 특성을 개별적으로 고려하여, 제품군 (product family) 전체의 성과에 미치는 영향을 분석하고자 한다. 본 연구에서는, 조직 내 구성원 및 그룹간의 관계를 규정짓는 3가지 요인(분권화, 공식화, 전문화)과 함께, 개발 관련 조직 간 공간적 근접성 (spatial proximity)을 조직의 구조적 특성을 파악하는 요인으로 사용하고자 한다. 본 연구는 국내 103개 제조업체로부터 수집한 설문응답 분석에 기초하였다. 조직 구조적 특성은 기업의 제품 다양성 정도와 신제품 개발 성과 간의 관계를 매개하는 것으로 나타났다. 특히 본 연구결과는 기존 신제품 개발 조직 연구와 상반되는 몇 가지 결과를 보고 주고 있다. 제품 다양성을 증가시키는 기업에게 있어, 플랫폼 제품 개발 과정의 공식화 및 파생 제품 개발과정의 분권화는 제품군 전체의 성과를 향상시켜 준다. 본 연구는 개발 조직의 공간적 근접성이 성공적으로 제품 다양성을 증가시키는 데 중요한 조직요소라는 것을 증명하였다.

무 농약 단감분말로 제조한 미트로프의 5℃ 냉장 저장 중 품질 변화 (Changes of Quality Properties of Pork Loaves with Chemical-free Sweet Persimmon Powder during Chilled Storage at 5℃)

  • 하창주;진상근;남영욱;양미라;고병순;김일석
    • Journal of Animal Science and Technology
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    • 제50권2호
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    • pp.237-246
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    • 2008
  • 미트로프 제품에 열풍건조 단감분말(HP)과 동결건조 단감분말(FP)을 각각 3%(HP-3%, FP-3%)와 6%(HP-6%, FP-6%)를 첨가하도, 무첨가구를 대조구로 제조한 후 함기포장하여 5℃에 저장하면서 품질평가를 실시하였다. 수분과 조회분은 FP-6%가 유의적으로 높았고(p<0.05), 조단백질 및 조지방은 모든 제품에서 유의적인 차이가 없었다(p>0.05). pH는 대조구가 처리구보다 높았으며(p<0.05), 처리구간에서는 차이가 없었다(p>0.05). 모든 제품에서 저장기간이 경과함에 따라 TBARS값은 증가하는 경향이었으며, 처리구들 간에서는 HP-6%와 FP-6%가 유의적으로 높게 나타났다(p<0.05). 각 소재물들의 첨가비율이 높을수록 높은 TBARS와 적색도는 증가하였다. 미생물 분석결과 저장 전 기간 동안 모든 제품에서 총균수는 3.11 log10 CFU/g를 유지하여 양호하였다. 전체적인 기호도는 대조구에 비해 처리구들이 더 좋았고 첨가량에 의한 차이는 없었다(p>0.05). 이상의 결과로써 다양한 생리활성물질을 가지는 열풍 또는 동결건조 단감분말은 기능성 식품의 소재로써 미트패티류 제품에 적용할 수 있음을 확인하였다.