Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

ppECVD silicon nitride 박막굴절률 및 식각속도의 화학적결합밀도 의존성 연구

  • 이중환 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 이상환 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 서경수 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 박형호 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 유룡 (한국과학기술원 화학과)
  • Published : 1993.07.01
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Abstract

Keywords