Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effect of SiO2 ppassivation in Al, Al-1%Si, Ag, Cu Thin Film Metallization

Al, Al-1%Si, Ag, Cu 박막금속화에서의 SiO2 ppassivation 효과

  • 김대일 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김진영 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1993.07.01
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Abstract

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