Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

AlSiCu 건식식각 및 부식방지에 관한 고찰

  • 권광호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 박형호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 구진근 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 강진영 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1993.07.01
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