UHV ECRCVD에 의한 SiH4/H2 플라즈마를 이용한 저온 실리콘 에피 증착에 관한 연구

  • 태흥식 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
  • 황석희 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
  • 박상준 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
  • 윤의준 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
  • 황기웅 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과)
  • Published : 1993.07.01