입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착한 Ta$_2$O$_5$ 유전박막의 특성

• 조용범 (울산대학교 재료공학과) ;
• 이경우 (울산대학교 재료공학과) ;
• 천희곤 (울산대학교 재료공학과) ;
• 조동율 (울산대학교 재료공학과) ;
• 김형준 (서울대학교 무기재료공학과) ;
• 김선우 (서울대학교 무기재료공학과) ;
• 구경완 (충청전문대학 전자과) ;
• 김동원 (경기대학교 재료공학과)

• Published : 1993.07.01

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