한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

The Effect of Residual Gas in Prepparation of Cu Films by Ionized Cluster Beam

  • 김철호 (한국과학기술연구원, 세라믹스 연구부) ;
  • 김기환 (한국과학기술연구원, 세라믹스 연구부) ;
  • 이지연 (한국과학기술연구 원, 세라믹스 연구부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원, 세라믹스 연구부) ;
  • 정형진 (한 국과학기술연구원, 세라믹스 연구부)
  • Published : 1994.06.01
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