A study on the pplanarization of dielectric film using CMP

CMP를 이용한 절연막 평탄화 연구

  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이용일 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.06.01