한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

MOCVD 방법을 이용한 구리 배선 재료의 형성

  • 문종 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초 연구실) ;
  • 염계희 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초 연구실) ;
  • 심태인 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초 연구실) ;
  • 이종길 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초 연구실)
  • 발행 : 1994.06.01
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