한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

이차이온질량분석의 정량화를 위한 $Al_xGa_{1-x}As$ 재료의 스퍼터링율 연구

A Study on the Spputtering Rate of AlxGa1-xAs Materials for SIMS Quantification

  • 곽병화 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이해권 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • 발행 : 1994.06.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드