$TaO_x$층 형성에 따른 $TaN_x$/Cr 박막의 저항특성 변화에 관한 연구

• 허명수 ((주) 고진공산업, HI-VAC 진공기술연구소) ;
• 김종호 ((주) 고진공산업, HI-VAC 진공기술연구소) ;
• 이건환 (한국기계연구원 박막기술그룹) ;
• 권식철 (한국기계연구원 박막기술그룹) ;
• 조동율 (울산대학교 재료공학과)

• 발행 : 1995.06.01

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