Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1995.06a
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Pages.102-102
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1995

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

A study on RF sputter cleaning using Ar/$H_2$ inductively coupled Plasma

아르곤/수소 유도결합 플라즈마를 이용한 RF sputter cleaning에 관한 연구

이원석 (성균관대학교 재료공학과) ;
이진호 (한국전자통신연구소) ;
남욱준 (성균관대학교 재료공학과) ;
염근영 (성균관대학교 재료공학과)

Published : 1995.06.01

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Abstract

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