Scanning Tunneling Microscopy를 이용한 Si(111)-7$\times$7 표면의 초기 산화와 식각 연구

  • 하정숙 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 박강호 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 박성주 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 이일항 (한국전자통신연구소 기초기술연구부)
  • 발행 : 1995.06.01