한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

원격 플라즈마 금속 유기 화학 기상 증착법에 의한 저온 GaN 완충막 성장에 관한 연구

A study on the growth of low temperature GaN buffer layer by remote pplasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition

  • 이재형 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 손철수 (서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1996.06.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드