PtSi가 도포된 triode-type의 실리콘 팁 제작

  • 김용민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 오병성 (충남대 물리학과)
  • 발행 : 1996.06.01