한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Silicon Carbide and Oxide Layers Formed by Low Energy (5-100eV) Ion Beam. Deposition and Sppectroscopic Characterization

  • 김병찬 (포항공과대학교 화학과) ;
  • 강헌 (포항공과대학교 화학과)
  • 발행 : 1996.06.01
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