$Si_{1-x}Ge_x$/Si 이종접합 에피막 구조에서의 misfit threading dislocation 특성

• 정욱진 (산업과학 기술연구소 전력전자 연구팀) ;
• 안창근 (포항공과 대학교 전자전기 공학과) ;
• 김광일 (산업과학 기술연구소 전력전자 연구팀) ;
• 권영규 (산업과학 기술연구소 전력전자 연구팀) ;
• 강봉구 (포항공 과 대학교 전자전기 공학과) ;
• 손병기 (경북대학교 공과대학 전자공학과)

• 발행 : 1996.06.01

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