한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
- /
- Pages.175-176
- /
- 1996
Pb(Zr,Ti)$O_3$ 강유전체 박막의 스퍼터링 증착과 열처리 연구
Spputtering Depposition and Anncaling of Pb(Zr,Ti)$O_3$ Ferroelectric Thin Films
초록
ppt/Ti/SiO2/Si 기판상에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방식으로 ppZT 박막[두 께:3000
키워드