한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

대향타겟식 스퍼터를 이용한 박막의 제작

Preparation of Thin Film using Facing Target Sputtering

  • 김경환 (강원대학교 전기·전자공학부) ;
  • 손인환 (광운대학교 전기공학과) ;
  • 김재환 (광운대학교 전기공학과) ;
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  • 直江正彦
  • 발행 : 1996.05.01
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