Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

등방성 비등방성 건식 식각에 의한 다결정 실리콘 전계 에미터 어레이 형성에 관한 연구

  • 조경제 (한국전자통신연구원 반도체연구단) ;
  • 강승열 (한국전자통신연구원 반도체연구단) ;
  • 송윤호 (한국전자통신연구원 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구원 반도체연구단) ;
  • 이상윤 (경북대학교 물리학과) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구원 반도체연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구원 반도체연구단)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

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