Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1998.05a
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Pages.95-95
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1998

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Microstructure Analysis of Pt/Ti Layer for Ferroelectric Application

강유전체의 하부 전극용 Pt/Ti 박막의 미세구조 분석

권순용 (현대전자(주)) ;
선호정 (현대전자(주)) ;
염승진 (현대전자(주)) ;
유용식 (현대전자(주))

Published : 1998.05.01

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Abstract

Keywords