Characteristics of ZnO transparent electrodes by RF Sputtering method

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

  • 이정철 (한국에너지기술연구소 태양광팀) ;
  • 김석기 (한국에너지기술연구소 태양광팀) ;
  • 윤경훈 (한국에너지기술연구소 태양광팀) ;
  • 송진수 (한국에너지기술연구소 태양광팀) ;
  • 이두열 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01