Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Variations of the Nucleation density and Crystallinity of Diamond Films Prepared by MPECVD with Deposition Conditions

MPECVD법으로 증착된 다이아몬드 박막의 성장조건에 따른 핵생성밀도 및 결정성의 변화

  • 송동섭 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
  • 이병수 (전북대학교 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01
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Abstract

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