Variation of the Crystallinity and Orientation of PZT thin films with Deposition Temperature and RTA

증착온도와 금속열처리에 의한 PZT박막의 결정성 및 배향성 변화

  • 이정영 (전북대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 이병수 (전북대학교 공과대학 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01